当含氧气的气体通过两个电极间的放电间隙时，部分氧气分子（O₂）会被转化为臭氧（O₃）从而实现臭氧制备（见图 1）。当高压电极上带有变化的高电压时，电极之间的放电间隙处会产生微放电，氧气分子被分解为自由态的氧原子O，部分自由态的氧原子与未分解的氧气分子重新结合生成臭氧（O₃）即 O＋O₂＝O₃，被称为“电晕放电”或“无声放电”。

事实上施加在电极上的电能只有一部分用于制备臭氧，制备过程中同时还会产生热量，需要通过冷却水来有效冷却臭氧发生模块。臭氧制备过程受原料气的质量和冷却水的温度影响比较显著，温度越低，臭氧制备效率越高。

绿邦臭氧放电介质：

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